Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
Опис
Теми
Цитування
Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности / А.П. Достанко, С.В. Бордусов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 7-18. — Бібліогр.: 72 назв. — рос.