Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
Опис
Теми
Цитування
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.