Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
Опис
Теми
Цитування
Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.