Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
Изучен процесс газовыделения в вакууме из покрытий нитрида титана, нанесенных на подложки из нержавеющей стали (SS) при помощи двух различных технологий: с подачей высоковольтных импульсов отрицательной полярности и без таковых.
Вивчено процес газовиділення у вакуумі з покриттів нітриду титану, нанесених на підкладки з неіржавіючої сталі (SS) за допомогою двох різних технологій: з подачею високовольтних імпульсів негативної полярності і без таких.
The process was examined of outgassing in vacuum from titanium nitride coatings deposited on stainless steel (SS) substrates with help of two different technologies: with input on substrate of high voltage negative pulses and without of the ones.
Вивчено процес газовиділення у вакуумі з покриттів нітриду титану, нанесених на підкладки з неіржавіючої сталі (SS) за допомогою двох різних технологій: з подачею високовольтних імпульсів негативної полярності і без таких.
The process was examined of outgassing in vacuum from titanium nitride coatings deposited on stainless steel (SS) substrates with help of two different technologies: with input on substrate of high voltage negative pulses and without of the ones.
Опис
Теми
Цитування
Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах / Г.П. Глазунов, А.А. Андреев, Д.П. Барон, В.М. Шулаев, В.А. Столбовой, В.Я. Чернышенко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 341-346 . — Бібліогр.: 7 назв. — рос.