Свойства покрытий Al₂O₃+Cr+TiN после электронно-лучевой обработки

Abstract

Методами растровой электронной микроскопии с микроанализом, обратного рассеяния протонов и рентгеноструктурного анализа было проведено исследование морфологии поверхности, элементного и фазового состава композиционных покрытий Al₂O₃+Cr+TiN, нанесенных комбинированным способом с использованием импульсно-плазменной и вакуумно-дуговой технологий и последующей обработкой электронным пучком. Показано, что после облучения покрытия высокоэнергетическим потоком электронов происходит изменение структуры, состава и свойств композиционного покрытия.Morphology of surface, element and phase composition of the Al₂O₃+TiN hybrid coatings deposited by the combined methods using the pulse-plasma and vacuum-arc technologies with subsequent electron beam treatment were examined by scanning electron microscopy with microanalysis, back-scattered protons and X-ray diffraction analysis. It is shown that exposure to the high-energy flow of electrons causes a change in structure, composition and properties of the hybrid coatings.