Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели

Abstract

Представлен обзор принципов коммутации, конструкций, используемых материалов, результатов исследований и разработок высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с электростатическим управлением, представляющих одно из современных направлений развития коммутационной техники.Представлено огляд принципів комутації, конструкцій, використовуваних матеріалів, результатів досліджень і розробок високочастотних мікроелектро-механічних перемикачів з електростатичним управлінням, що представляють одне із сучасних напрямків розвитку комутаційної техніки.An overview of the principles of switching structures, used materials, the results of research and development of RF MEMS switches with electrostatic control, representing one of the modern direction of switching technology development is given.