Релаксація магнеточутливих домішок у монокристалічному кремнії

Abstract

Виконано систематичну оцінку рівноважних і кінетичних параметрів релаксації «магнеточутливих» домішок у монокристалічному кремнії на основі мікроскопічного моделю релаксації конфіґураційного близького атомового порядку та часової залежности зміни мікротвердости.Выполнена систематическая оценка равновесных и кинетических параметров релаксации «магниточувствительных» примесей в монокристаллическом кремнии на основе микроскопической модели релаксации конфигурационного ближнего атомного порядка и временной зависимости изменения микротвёрдости.Based on the microscopic relaxation model of the configuration short-range atomic order and time dependence of changes in microhardness, the systematic evaluation of equilibrium and kinetics parameters of ‘magneticsensitive’ impurities in single-crystalline Si is carried out.