Моделювання та діягностика деформацій у приповерхневих шарах монокристалів ґадоліній-ґалієвого ґранату, імплантованих йонами F⁺

Abstract

На основі оброблення експериментальних даних високороздільчої Рентґенової дифрактометрії із застосуванням статистичної динамічної теорії дифракції Рентґенових променів у дефектних кристалах одержано розподіл пружніх деформацій за глибиною приповерхневого шару монокристалів ґадоліній-ґалієвого ґранату, яких було імплантовано йонами F⁺ з енергією у 90 кеВ. Проаналізовано залежність характеристик деформованого стану кристалу від дози йонної імплантації.На основе обработки экспериментальных данных рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения с применением статистической динамической теории дифракции рентгеновских лучей в дефектных кристаллах получены распределения упругой деформации по глубине приповерхностного слоя монокристаллов гадолиний-галлиевого граната, которые были имплантированы ионами F⁺ с энергией в 90 кэВ. Проанализирована зависимость характеристик деформированного состояния кристалла от дозы ионной имплантации.Elastic strain distributions through depth in the subsurface layer of gadolinium—gallium garnet single crystals implanted by F⁺ ions with energy of 90 keV are determined by means of the high-resolution X-ray diffraction measurement data processing with using the statistical dynamical theory of X-ray diffraction in imperfect crystals. The dependences of strained-crystal characteristics on the implantation dose are analysed.