Low-Temperature Interdiffusion and Ordered Phase Formation in Au/Cu Nanocrystalline Thin Films at the Different Atmospheres

Abstract

Interdiffusion processes in the polycrystalline Au (30 nm)/Cu (40 nm) thin films during annealing at 100—200°C for 15 and 30 min in a vacuum with different residual-atmosphere pressures of 10⁻² and 10⁻⁶ Pa and in an environment of hydrogen at a pressure of 5∙10² Pa are investigated.Исследованы процессы взаимной диффузии в тонких поликристаллических плёнках Au (30 нм)/Cu (40 нм) во время отжига при температурах 100—200°C в течение 15 и 30 мин в вакууме при различных давлениях остаточной атмосферы 10⁻² и 10⁻⁶ Па и в среде водорода при давлении 5∙10² Па.Досліджено процеси взаємної дифузії в тонких полікристалічних плівках Au (30 нм)/Cu (40 нм) під час відпалу за температур у 100—200°C впродовж 15 і 30 хв. у вакуумі при різних тисках залишкової атмосфери у 10⁻² і 10⁻⁶ Па та в середовищі водню при значенні тиску у 5∙10² Па.