Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля

Abstract

Показано, что наложение магнитного поля на индукционный разряд, возбуждаемый плоской ВЧ-антенной, приводит к значительному росту плотности плазмы и распространению зоны ее активной генерации на весь объем разрядной камеры. Установлено наличие срывов разряда при достижении порога с ростом магнитного поля. В интервале полей ниже порога наблюдается несколько режимов разряда, смена которых сопровождается скачками плотности. Установлено существенное влияние конфигурации магнитного поля на эффективность источника. Расчеты электромагнитных полей и поглощения ВЧ-мощности в плазме источника показывают, что с ростом магнитного поля увеличиваются глубина и эффективность поглощения, а скачки плотности возможны из-за перестройки модовой структуры возбуждаемых геликонных волн.