Экспериментальная установка для тестирования ВЧ-источников ионов

Abstract

Разработана экспериментальная установка, позволяющая производить экспрессные измерения полного тока, профиля, массового состава и эмиттанса пучка ВЧ-источников ионов. Реализован индуктивный ВЧ-разряд с внешним магнитным полем (~60 Гс) при 80 Вт вводимой в плазму ВЧ-мощности (fВЧ=27.12 МГц). Плотность ионного тока составляла величину 20 мА/см² при диаметре эмиссионного отверстия 0.6 мм. Для реализации режимов работы ВЧ-источника с плотностью плазмы на уровне 6·10¹¹см⁻³ разработана и изготовлена компактная магнитная система с постоянными магнитами (NdFeB) и ферритами кольцевой формы. Реализованы высокояркостные режимы ВЧ-источника аргонового пучка Bn = 5·10¹² A.m⁻².rad⁻².