Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой

Abstract

Приведены результаты исследований морфологии наноструктурных алмазных покрытий, полученных в широком диапазоне условий их синтеза из газовой фазы. В зависимости от условий их получения возможна реализация нескольких морфологических типов структуры поверхности – глобулярной и пластинчатой. Исследования шероховатости поверхности покрытий со структурой разного типа показали, что структура пластинчатого типа более предпочтительна для получения наноструктурных алмазных покрытий с минимальной шероховатостью.Наведено результати досліджень морфології наноструктурних алмазних покриттів, отриманих у широ-кому діапазоні умов їхнього синтезу з газової фази. Залежно від умов їхнього отримання можлива реалізація декількох морфологічних типів структури поверхні – глобулярної й пластинчастої. Дослідження шорсткості поверхні покриттів зі структурою різного типу показали, що структура пластинчастого типу вважається за кращу для отримання наноструктурних алмазних покриттів з мінімальною шорсткістю.Results of researches of morphology of nanocrystalline diamond coatings deposited from gas phase in a wide range of conditions of their synthesis are given. Depending on conditions of their deposition several morphological types of a surface structure – globular and lamellar is possible. Studies of the coatings roughness with different mor-phological structure have shown that the lamellar type structure is more preferable to get nanocrystalline diamond coatings with the minimal roughness.