Тепловой узел ростовой камеры установки выращивания крупногабаритных кристаллов германия методом погружного вращающегося формообразователя

Abstract

Разработана и испытана конструкция теплового узла для выращивания крупногабаритных кристаллов германия методом погружного вращающегося формообразователя. В конструкции в качестве материала тигля использованы графит марки ГМЗА-0 и углерод-углеродный композиционный материал, уплотненный пироуглеродом, марки ВКП-2У. Установлен ряд преимуществ тиглей из ВКП-2У в части обеспечения заданного распределения температуры по поверхности тигля, повышения механической прочности и снижения доли сажистых включений в кристалле. В опытно-промышленных условиях получены кристаллы германия диаметром до 420 мм с высокими оптическими характеристиками.Розроблена й випробувана конструкція теплового вузла для вирощування великогабаритних кристалів германія методом заглибного обертового формоутворювача. У конструкції в якості матеріалу тигля використаний графіт марки ГМЗА-0 і вуглець-вуглецевий композиційний матеріал, ущільнений піровуглецем, марки ВКП-2У. Установлений ряд переваг тиглів із ВКП-2У в частини забезпечення заданого розподілу температури по поверхні тигля, підвищення механічної міцності й зниження частки сажистих включень у кристалі. У дослідно-промислових умовах отримано кристали германія діаметром до 420 мм з високими оптичними характеристиками.The construction of a thermal knot of the growth vessel of apparatus of large-sized crystals of germanium growing by the immersible pivoted shaper method is developed and tested. In a construction as a bowl material carbon ГМЗА-0 and carbon-carbon composite bodied by pyrolytic carbon ВКП-2У are used. Series of advantages of bowls from ВКП- 2У in the part of assurance of the given allocation of temperature on a surface of a bowl, heightening of a mechanical strength and fraction soot impurities lowering in a crystal is fixed. In experimental-industrial conditions crystals of germanium in diameter to 420 mm with high optical characteristic are received.