Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2

Abstract

У вакуум-плазмових покриттях із нітридів титану, алюмінію та ніобію методом гнучкого зразка визначено величини залишкових напружень. Запропоновано експериментально-розрахункову методику виділення структурної та термічної складових залишкових напружень, що дозволяє визначати коефіцієнти термічного розширення матеріалів покриттів та загальний рівень залишкових напружень у покриттях на основі з будь-якого матеріалу. Встановлено залежність залишкових напружень від шорсткості поверхні основи. Показано можливість врегулювання рівня залишкових напружень у покриттях шляхом формування їх дискретної топографії.В вакуум-плазменных покрытиях из нитридов титана, алюминия и ниобия методом гибкого образца определены величины остаточных напряжений. Предложена экспериментально-расчетная методика выделения структурной и термической составляющих остаточных напряжений, которая позволяет определить коэффициенты термического расширения материалов покрытий и общий уровень остаточных напряжений в покрытиях на основе из любого материала. Установлена зависимость остаточных напряжений от шероховатости поверхности основы. Показана возможность урегулирования уровня остаточных напряжений в покрытиях путем формирования дискретной топографии поверхности.