Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии

Abstract

Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии исследовались плёнки Au и por-Au, полученные методом импульсного лазерного осаждения. Определены их основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано, что дополнительные измерения параметра решётки плёнок золота позволяют более корректно определить величину их пористостиМетодами Рентґенової рефлектометрії та дифрактометрії досліджувалися плівки Au і por-Au, одержані методою імпульсного лазерного осадження. Визначено їхні основні структурні параметри: густину (пористість), товщину, шерсткість. Показано, що додаткові міряння параметра ґратниці плівок золота уможливлюють коректніше визначити величину їхньої пористости.The Au and por-Au films obtained by pulsed-laser deposition are characterized by X-ray reflectometry and diffractometry. The main structural parameters (density (porosity), thickness, surface roughness) are obtained. As shown, the additional measurements of the lattice parameter allow more correctly determine the porosity value of the Au films.