Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли

Abstract

Досліджено кінетику дисперґування паладійових і платинових наноплівок у 100 нм завтовшки, нанесених на оксидні підложжя (кварцове скло, лейкосапфір, кераміка на основі ZrO₂) та відпалених у вакуумі за температур 1000—1600°С впродовж різного часу витримки при кожній температурі. Побудовано кінетичні криві процесу дисперґування цих плівок та висловлено рекомендації щодо їх практичного застосування.Исследована кинетика диспергирования палладиевых и платиновых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные подложки (кварцевое стекло, лейкосапфир, керамика на основе ZrO₂) и отожжённых в вакууме при температурах 1000—1600°С в течение различного времени выдержки при каждой температуре. Построены кинетические кривые процесса диспергирования этих плёнок и приведены рекомендации относительно их практического применения.The dispersion kinetics of palladium and platinum nanofilms of 100 nm thickness deposited onto oxide substrate (quartz glass, leucosapphire, ZrO₂-based ceramics) and annealed in a vacuum at 1000—1600°C for different exposure times at each temperature is investigated. Kinetic curves of dispersion process in these films are plotted and recommendations for practical application of them are also given.