Подготовка образцов металлов и сплавов на основе железа для исследования на растровом электронном микроскопе методом дифракции отраженных электронов

Abstract

Метод дифракции отраженных электронов на растровом электронном микроскопе сегодня применяется в различных областях исследования: в металлообрабатывающей промышленности, аэрокосмической отрасли, атомной, автомобильной, микроэлектронной промышленности и научных исследованиях. При использовании этого метода важным является качество подготовки поверхности образца. Оборудование и методики производителя лабораторного оборудования Struers (Дания) для пробоподготовки помогут исследователю решить эту проблему и обеспечить качественную полированную поверхность образцов. В статье описаны основные этапы пробоподготовки и даны рекомендации по выбору оборудования и режимам его работы.Метод дифракції відбитих електронів на растровому електронному мікроскопі сьогодні застосовується в різних областях дослідження: в металообробній промисловості, аерокосмічній галузі, атомній, автомобільній, мікроелектронній промисловості та наукових експериментах. При застосуванні цього методу важливою є якість підготовки поверхні зразка. Обладнання та методики виробника лабораторного обладнання Struers (Данія) допоможуть досліднику вирішити цю проблему і забезпечити якісну поліровану поверхню зразків. У статті описані основні етапи пробопідготовки і наведені рекомендації по вибору устаткування і режими його роботи.Today, method of EBSD in a scanning electron microscope is used in various areas of research: in the metal, aerospace, nuclear, automotive industry, microelectronics, basic science. The quality of the sample surface is very essential for the method application. Equipment and methods of preparation from manufacturer of laboratory equipment Struers (Denmark) help to solve this problem and provide quality of sample polished surface. The paper describes main stages of sample preparation and gives recommendations on the choice of equipment and its operation modes.