Analysis of methods for high-speed forming the relief microimages on metallic substrates

Завантаження...
Ескіз

Дата

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України

Анотація

The use of methods of ion and electrochemical etching of metallic substrates to obtain relief microstructures with micron and submicron sizes is considered. Presented are the results of experimental researches of processes aimed at manufacturing metallic carriers by using inorganic photoresists.

Опис

Теми

Цитування

Analysis of methods for high-speed forming the relief microimages on metallic substrates / A.A. Kryuchin, A.V. Pankratova, I.A. Kassko, F.V.Nagorny, D.V.Chirkov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2007. — Т. 10, № 4. — С. 87-93. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced