Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий

Abstract

На основе пористого анодного окисла алюминия создана технология тонкопленочных оптических сенсоров. Показана ее применимость в биосенсорике.Створено технологію тонкоплівкових оптичних сенсорів на основі поруватого анодного оксиду алюмінію. Показана можливість її застосування у біосенсориці.The developed thin-films technology of optical waveguide sensors basing on porous anodic alumina is presented. Their applicability for the biosensing is shown.