Микроэлектромеханические системы в медицине
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
Анотація
Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом.
Представлено огляд МЕМС і біоМЕМС, областей їх застосування, конструкцій, розробок мікродзеркал, а також результати аналітичного розрахунку і розрахунку в програмі COMSOL Multiphysics мікродзеркала з тепловим приводом.
An overview of MEMS and bioMEMS, their applications, designs, development of micromirrors, and the results of analytical calculation and calculation in the program COMSOL Multiphysics,micromirror with thermal actuatoris given.
Представлено огляд МЕМС і біоМЕМС, областей їх застосування, конструкцій, розробок мікродзеркал, а також результати аналітичного розрахунку і розрахунку в програмі COMSOL Multiphysics мікродзеркала з тепловим приводом.
An overview of MEMS and bioMEMS, their applications, designs, development of micromirrors, and the results of analytical calculation and calculation in the program COMSOL Multiphysics,micromirror with thermal actuatoris given.
Опис
Теми
Цитування
Микроэлектромеханические системы в медицине / В.Н. Шоффа, Е.Г. Бандорина // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2016. — С. 13-22. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.