Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока

Abstract

Методом вакуумно-дугового осаждения с применением импульсной стимуляции на подложку и сепарации ионно-плазменного потока получены многокомпонентные твердые покрытия на основе нитридов металлов переходной группы, легированных кремнием. Изучены физико-механические и триботехнические характеристики покрытий. Показана возможность их применения в качестве эффективных защитных покрытий для режущего инструмента.Методом вакуумно-дугового осадження із застосуванням імпульсної стимуляції на підкладинку і сепарації іонно-плазмового потоку отримані багатокомпонентні тверді покриття на основі нітридів металів перехідної групи, легованих кремнієм. Вивчено фізико-механічні та триботехнічні характеристики покриттів. Доведено можливість їх застосування як ефективних захисних покриттів для різального інструменту.Multicomponent hard coatings based on nitrides of Si-doped transition metals have been produced by vacuum-arc deposition with the use of a RF generator and separation of an ion–plasma flux. Physico-mechanical and tribotechnical characteristics of coatings have been studied. The possibility of their use as efficient protective coatings has been shown.