Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂

Abstract

Методом магнетронного распыления мишени получено покрытие системы AlN–TiB₂–TiSi₂. При высокотемпературном (900 и 1300 °C) воздействии на покрытие наблюдается его кристаллизация с образованием кристаллитов размером 11−25 нм. Аморфоподобная структура является перспективной при использовании таких покрытий в качестве диффузионных барьеров как самостоятельных элементов, так и контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях. Использование полученного композита как эффективного защитного покрытия для режущего инструмента позволит повысить его износостойкость на более 30 % при температуре в зоне резания до 1300 °C.Методом магнетронного розпилення мішені отримано покриття системи AlN–TiB₂–TiSi₂. При високотемпературному (900 і 1300 °C) впливі на покриття спостерігається його кристалізація з утворенням кристалітів розміром 11–25 нм. Аморфоподібна структура є перспективною у використанні таких покриттів в якості дифузійних бар’єрів як самостійних елементів, так і контактуючого шару в багатошарових зносостійких покриттях. Використання покриття для ефективного захисту різального інструменту дозволить підвищити його зносостійкість на понад 30 % при температурі в зоні різання до 1300 °С.Using magnetron sputtering method, obtained coatings of AlN–TiB₂–TiSi₂ system. When exposed of a high temperature on coating (900 and 1300 °C) is observed crystallize to form a crystallites with size of 11–25 nm. Amorphous-like structure is promising in the use of such coatings as diffusion barriers, in the form as independent elements, and as a contacting layer in multilayer wear resistant coatings. Use of an effective protective coating for cutting tools will improve the tool life to 1.32 times at a temperature in the cutting zone to 1300 °C.