Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований

Abstract

Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации.Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, одержаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для зменшення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсивности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це уможливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації.X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of diffraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly.