Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Анотація
Опис
Теми
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
Цитування
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.