Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
Завантаження...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Анотація
Опис
Теми
Characterization and properties
Цитування
Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.