Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode
Завантаження...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Анотація
Опис
Теми
Technology
Цитування
Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode / I.I. Aksenov, V.A. Belous, Yu.A. Zadneprovskiy, N.S. Lomino, O.V. Sobol // Functional Materials. — 2011. — Т. 18, № 2. — С. 266-273. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.