Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Анотація
Опис
Теми
Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения
Цитування
Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.