Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники

Abstract

В результате исследования закономерностей полирования монокристаллического сапфира обоснована целесообразность последовательного применении водных полировальных суспензий из порошков МАХ-фазы ТІ₃АІС₂ и кубического нитрида бора, а также коллоидных систем из наночастиц полировальных порошков.У результаті дослідження закономірностей полірування монокристалічного сапфіру обґрунтовано доцільність послідовного застосування водних полірувальних суспензій з порошків МАХ-фази Тi₃АІС₂ та кубічного нітриду бору, а також колоїдних систем з наночастинок полірувальних порошків.As a result of studies of regularities polishing single-crystal sapphire expedience consistent application of water-shaft polishing slurries of MAX-phase powders ТізАІС₂ and cubic boron nitride powders, as well as colloidal systems of nanoparticles polishing powders.