Лазерный генератор изображений ЭМ-5009В
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Установка предназначена для изготовления металлизированных промежуточных фотооригиналов при производстве БИС, СБИС, фотоэлектронных преобразователей, ЖК-индикаторов, фотошаблонов ГИС, специальных измерительных и тестовых шаблонов. Является автоматической установкой, работающей по принципу микрофотонабора рисунка топологии по информации, поступающей от системы проектирования на гибком магнитном диске.
Опис
Теми
Научно-промышленные центры СНГ
Цитування
Лазерный генератор изображений ЭМ-5009В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 37. — рос.