Властивості, структура, способи одержання матеріалів на основі оксиду індію та їх практичне застосування у технологіях напівпровідникової та електронної техніки (Огляд)

Abstract

Наведено огляд літературних даних щодо загальних властивостей та структури оксиду індію In₂O₃, проведено аналіз методів одержання матеріалів на його основі, розглянуто застосування оксиду індію у різних галузях напівпровідникової та електронної техніки.Представлен обзор литературных данных по общим свойствам и строению оксида индия (In₂O₃), проведен анализ методов получения материалов на его основе, рассмотрено применение оксида индия в разных отраслях электронной техники.Review of literary data concerning general properties and structure of indium oxide (In₂O₃) and the analysis of methods of obtaining of the indium oxide based materials is presented and their use in different fields of electronic technique is examined.