Статистический анализ структуры металлических конденсатов, полученных распылением при фазовом равновесии

Abstract

На примере квазиравновесной стационарной конденсации меди в ионно-плазменном распылителе исследован новый механизм образования фазы. Показано, что при малой плотности центров кристаллизации на подложке образуется сетчатая структура, являющаяся результатом иерархической конденсации, в ходе которой сначала образуются малые кластеры зародышей фазы, затем на их границе происходит вторичная конденсация, многократно повторяющаяся далее. С использованием численных методов обработки изображений проведён анализ параметров исследуемой сетчатой структуры.На прикладі квазирівноважної стаціонарної конденсації міді у йонно-плазмовому розпорошувачі досліджено новий механізм утворення фази. Показано, що за малої густини центрів кристалізації на підложжі утворюється сітчаста структура, що є результатом ієрархічної конденсації, під час якої спочатку утворюються малі кластери зародків фази, а потім на їх межі відбувається вторинна конденсація, яка багаторазово повторюється надалі. З використанням чисельних метод оброблення зображень виконано аналізу параметрів досліджуваної сітчастої структури.Copper condensates are fabricated to demonstrate that specific network structure is formed as a result of self-assembly in the course of deposition. As shown, at the low density of crystallization centres, condensate forms a branching structure as a result of hierarchical condensation. During such a process, condensation starts with small nuclei clusters of a new phase, and it is continuing repeatedly on the boundaries of primary formed clusters. For statistical analysis of the obtained branching structure, numerical methods are used.