Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения

Abstract

На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с изменением давления газа в реакционном объёме. Установлен немонотонный характер зависимости содержания кремния в покрытии от давления газа с минимумом в области 10^−3 Торр. Описан предположительный механизм формирования такой зависимости.На прикладі титан-силіцієвих композитів (вміст силіцію в катоді 4…5 ваг.%) вивчались особливості переносу складових катодного матеріалу до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом у присутності азоту. Вивчалась еволюція властивостей покриттів (мікротвердість, елементного й фазового складів) із зміною тиску газу в реакційному області. Встановлено немонотонний характер залежності вмісту силіцію в покритті від тиску газу з мінімумом в області 10^−3 Торр. Описані припущення щодо механізму формування такої залежності.On an example of the titanium-silicon composites (the silicon content in the cathode of 4…5 wt.%) features of cathodic material components transport to the coatings, deposited by a vacuum-arc method in presence of nitrogen, were studied. Evolution of properties of the coatings (microhardness, element and phase structures) with change of the gas pressure in reaction area was studied. Nonmonotonic character of dependences of the silicon content in the coating on the gas pressure with a minimum in region of 10^−3 Тоrr is revealed . The hypothetical mechanism of formation of such dependence is described.