Синтез гексаметилдисилазанатов алюминия, галлия, индия
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут загальної та неорганічної хімії ім. В.І. Вернадського НАН України
Анотація
Проведены исследования по синтезу координационных соединений алюминия, галлия, индия с гексаметилдисилазаном. Кристаллические образцы комплексов охарактеризованы по данным элементного анализа и ИК-спектpоскопии. Рассмотрена возможность применения полученных соединений в качестве прекурсоров в CVD-процессах.
Опис
Теми
Неорганическая и физическая химия
Цитування
Синтез гексаметилдисилазанатов алюминия, галлия, индия / Е.А. Мазуренко, Л.И. Цымбал, Л.И. Железнова // Украинский химический журнал. — 2000. — Т. 66, № 7. — С. 13-17. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.