Анализ методов изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов для систем сверхплотной записи информации

Abstract

Рассмотрены методы изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов: механический метод нагревания и растягивания, методы химического травления, метод формирования нанослепка и комбинированные методы. Рассмотрен метод ионно-лучевого фрезерования для формирования плоскости апертуры выходного отверстия острия оптоволоконного зонда.The following methods for near-field optical fiber probes fabrication as a mechanical heatingpulling method, chemical etching methods, photoplastic near-field optical probe replication from nanomould fabrication method, and combined methods are considered. The focused ion-beam milling method for optical fiber probe tapered tip aperture forming is considered.