Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники

Abstract

Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса.Представлено нові розробки - комплекти вакуумно-плазмового і фізико-термічного технологічного обладнання мікро-, нано-, радіоелектроніки для технічного навчання, наукових досліджень, відпрацювання технологічних процесів, а також для забезпечення дрібносерійного виробництва на підприємствах малого та середнього бізнесу.Some new developments are presented - vacuum-plasma and physics-thermal processing equipment kits for micro, nano- and radio electronics for technical training, research, technological process development, as well as for smallscale production in small and medium-sized businesses.