Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике
Завантаження...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Исследованы химический состав и физические свойства тонких пленок BaCuTeF. Показана возможность улучшения электрических параметров пленок путем добавления в них избыточной меди.
Опис
Теми
Материалы электроники
Цитування
Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике / З.Ю. Готра, Дж. Тейт, Р. Кикинеши, А.А. Закутаев, Л.М. Ракобовчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 54-57. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.