Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов
Завантаження...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям.
Опис
Теми
Технологические процессы и оборудование
Цитування
Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов / В.П. Рева, С.В. Коринец, Л.А. Писаренко, С.Е. Духнин, Н.А. Барсукова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 46-49. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.