Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Рассмотрены различные конструкции газоанализаторов на основе пористого карбида кремния. Показана перспективность использования этого материала в качестве активного слоя сенсоров.
Опис
Теми
Вопросы приборостроения
Цитування
Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния / Н.Н. Московченко, А.М. Светличный // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 32-35. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.