Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов.
Опис
Теми
Функциональная микро- и наноэлектроника
Цитування
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.