Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота

Abstract

В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации атомов кислорода (азота) до ~6 ат.% ведет к уменьшению размера зерен, повышению сжимающих напряжений и значительному росту твердости материала.У роботі наведено результати дослідження впливу малих добавок кисню й азоту на структуру та механічні властивості плівок титану, отриманих магнетронным розпиленням. Показано, що збільшення у плівках концентрації атомів кисню (азоту) до ~6 ат.% призводить до зменшення розмірів зерен, підвищення стискальної напруги й значного зростання твердості матеріалу.Influence of small concentrations of oxygen and nitrogen on the structure and mechanical properties of sputtered titanium films are presented. The increase of oxygen (nitrogen) concentration up to ~6 at.% results in grain size decrease, increase of compressive stress and significant growth of film hardness.