Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ)

Abstract

В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих вставок ГАКТМ.У даній роботі представлені результати по емісійно-спектроскопическим дослідженням СВЧ плазми в процесі газофазового вирощування CVD алмазу при осадженні полікристалічних алмазних пластин на кремнієвих підкладках, а також результати з дослідження морфологічних особливостей одержуваних з них армуючих вставок ГАКТМ.This paper presents the results of the emission-spectroscopic studies of microwave plasma CVD process of diamond growth gazofazovogo the deposition of polycrystalline diamond plates on silicon substrates, as well as to study the morphological features of diamond inserts for a hybrid composite material.