Визначення фракційного складу вуглецевих плівкових конденсатів методом рентегенівської фотоелектронної спектроскопії

Abstract

Досліджено та проаналізовано методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії фракційний склад вихідних та імплантованих аморфних тетраедричних вуглецевих плівок. Імплантовані та наноструктуровані ta-C плівки становлять перспективні матеріали графенової електронікиИсследован и проанализирован методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии фракционный состав исходных и имплантированных аморфных тетраэдрических углеродных пленок. Имплантированные и наноструктурированные ta-C пленки являются перспективными материалами графеновой электроники.The fraction composition of the original and carbon or argon ions implanted amorphous tetrahedral carbon films has been investigated and analyzed. The implanted and nanostructured tetrahedral carbon films could be promising materials for the graphene electronics.