Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании
Завантаження...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Анотація
Представлен обзор информационных источников по физико-химическим процессам формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃). Установлено, что невозможно обеспечить необходимые требования к состоянию их поверхностей до уровня “атомно-гладких” без физико-химического взаимодействия обрабатывающего и обрабатываемого материалов на заключительном этапе обработки — трибохимическом полировании.
Опис
Теми
Исследование процессов обработки
Цитування
Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании / В.В. Рогов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 4. — С. 74-83. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.