Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании

Завантаження...
Ескіз

Дата

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України

Анотація

Представлен обзор информационных источников по физико-химическим процессам формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃). Установлено, что невозможно обеспечить необходимые требования к состоянию их поверхностей до уровня “атомно-гладких” без физико-химического взаимодействия обрабатывающего и обрабатываемого материалов на заключительном этапе обработки — трибохимическом полировании.

Опис

Теми

Исследование процессов обработки

Цитування

Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании / В.В. Рогов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 4. — С. 74-83. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced