Структура и твердость вакуумно-дуговых конденсатов титана и некоторых сплавов на его основе, полученных из несепарированных потоков плазмы

Abstract

Исследованы структура, фазовый состав и микротвердость вакуумно-дуговых конденсатов титана и пленочных материалов — сплавов систем Ti—3Al—6Si, Ti—TiB₂, сформированных из нефильтрованных потоков плазмы непрерывного катодно-дугового разряда. Показано, что, варьируя технологические параметры генерирования потоков металлической плазмы и условия их осаждения, можно изменять микроструктурные и морфологические свойства осаждаемых покрытий в широком диапазоне.Досліджено структуру, фазовий склад і мікротвердість вакуумно-дугових конденсатів титану і плівкових матеріалів сплавів систем Ti—3Al—6Si, Ti—TiB₂, сформованих з нефільтрованих потоків плазми безперервного катодно-дугового розряду. Показано, що варіювання технологічних параметрів генерування потоків металевої плазми і умови їх осадження дозволяє змінювати мікроструктурні та морфологічні властивості осаджуємих покриттів у широкому діапазоні.A structure, phase composition and microhardness of vacuum arc titanium condensates and Ti—3Al—6Si, Ti—TiB₂ alloys films produced from non-filtered plasma flows were studied. It was shown that the changes of technological parameters in metallic plasma flow generation and conditions of their deposition allow to control within a wide range the microstructure and morphological properties of deposited coatings.