Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции

Abstract

Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники.