Сучасні мікроелектронні датчики для інтелектуальних систем

Abstract

Розв’язано комплексну проблему створення мікроелектронних датчиків нового покоління на основі нових принципів, функціональних матеріалів і структур для забезпечення інтелектуальних систем первинним сигналом високої якості в режимі on-line та інтеграції їх в інтелектуальні системи широкого народногосподарського призначення.Решена комплексная проблема создания микроэлектронных датчиков нового поколения на основе новых принципов, функциональных материалов и структур для обеспечения интеллектуальных систем первичным сигналом высокого качества в режиме online и интеграции их в интеллектуальные системы широкого народнохозяйственного назначения.The problem of creation of the new generation integrated microelectronic sensors based on new principles, functional materials and structures has been solved. Sensors provide the intelligent systems with primary highquality on-line signals and are integrated into intelligent systems of the broad economic purposes.