Электротепловой элемент сенсоров газа

Abstract

Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт.The constructive-technological solutions of gas sensor with built-in electrical thermal element made by thin-film technology is described. The power calculation of made from nichrome sensor thermoheater is made. For providing sensor working surface stabilized temperature equal 100°C it is enough heater power equal 0,2 W.