Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры
Завантаження...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Исследованы тонкие пленки органических полупроводников с макроциклической структурой фталоцианина и дигидродибензотетрааза[14]аннулена. Подтверждено, что при напылении в вакууме химическая структура молекул органических полупроводников сохраняется. Пленки имеют пористую мелкокристаллическую структуру. При определенных условиях напыления были получены высокоупорядоченные ориентированные пленки даже на аморфных неориентированных подложках. Пленки обладали полупроводниковой электропроводностью р-типа. Методом рентгеноструктурного анализа показано влияние химического модифицирования структуры на пространственное строение молекул.
Опис
Теми
Материалы для микроэлектроники
Цитування
Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры / В.Д. Орлов, В.Г. Удовицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 9-11. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.