Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме

Abstract

Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвёрдости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия.Досліджено залежності морфології поверхні, структури і фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, одержаних методою EBPVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати міряння мікротвердости та електричної міцности конденсатів оксиду алюмінію.The dependences of surface morphology, structure, and phase composition of thick Al₂O₃ condensates obtained by EBPVD on the condensation temperature are studied. The presence of nanostructured components of different morphology and phase composition in a wide temperature condensation range is revealed. The results of measurements of the microhardness and electric strength of aluminium-oxide condensates are presented.