Вплив тиску азоту на механічні властивості і термічну стабільність покриттів TiAlSiN, одержаних при вакуумно-дуговому осадженні

Abstract

Вакуумно-дуговою методою в умовах фільтрації плазмового потоку осаджено покриття TiAlSiN з твердістю від 30 до 45 ГПa, залежно від тиску азоту. Досліджено елементний склад покриттів зі зміною параметрів процесу. Показано високу термостабільність одержаних конденсатів до 1000°С.Вакуумно-дуговым методом в условиях фильтрации плазменного потока осаждены покрытия TiAlSiN с твёрдостью от 30 до 45 ГПа в зависимости от давления азота. Исследован элементный состав покрытий с изменением параметров процесса. Показана высокая термостабильность полученных конденсатов до 1000°С.Coatings of TiAlSiN with hardness from 30 to 45 GPa are deposited by a vacuum-arc method under conditions of filtration of plasma flow at different pressures of nitrogen. Element composition of coatings is investigated depending on the change of process parameters. High thermal stability of fabricated condensates up to 1000°С is shown.